SCMFM微氣體質(zhì)量流量計(jì)

微氣體質(zhì)量流量計(jì)的概述：

采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。

微氣體質(zhì)量流量計(jì)的技術(shù)參數(shù)：

2.1  測(cè)量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2  流量范圍：DN3   30-300ml/min
               DN6   60-600ml/min
               DN8   80-800ml/min
               DN10  100-1000ml/min             
注：
   a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言；
   b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。
   c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大
   d)特殊需要可單獨(dú)標(biāo)定
2.3   流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍：0-55℃；
2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6   供電電源：24VDC±10%；
2.7   輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；
2.8   環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9   顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。  

微氣體質(zhì)量流量計(jì)的工作原理：

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)法保證其傳感器的電阻值的*性，導(dǎo)致傳感器在各個(gè)法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過(guò)程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問(wèn)題，實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問(wèn)題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì)，同時(shí)可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高。當(dāng)傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場(chǎng)分布。如果氣體是單向流動(dòng)，則在氣道中溫度場(chǎng)可用下述公式來(lái)計(jì)算：

式中：氣體流動(dòng)方向?yàn)椋俣葹椋觯釣閿U(kuò)散率。
如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過(guò)芯片時(shí)，將會(huì)帶走熱量，通過(guò)質(zhì)量流量qm和電壓V的對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)計(jì)算流體的質(zhì)量流量。

微氣體質(zhì)量流量計(jì)的分類與命名      

微氣體質(zhì)量流量計(jì)的型號(hào)命名

微氣體質(zhì)量流量計(jì)的機(jī)械尺寸

微氣體質(zhì)量流量計(jì)的輸出

PIN1：報(bào)警輸出2
PIN2：報(bào)警輸出1
PIN4：RS485B
PIN5：RS485A
PIN11：電源負(fù)端（0V）
PIN12：電斷正端（24V）
PIN14：LOOP-  
PIN15：LOOP+
PIN3、6~10、13：信號(hào)地（報(bào)警信號(hào)參考地）

8.2 報(bào)警連接

8.3 RS485連接：

8.4 4-20mA輸出連接：